中德亚毫米波望远镜（CCOSMA）是3米口径的卡塞格林式望远镜，其反射面表面精度为均方根23微米。最近采用光学望远镜和CCD照相的方法也提高了望远镜的指向精度。从光学测量的结果来看，全范围内指向精度已经可达均方根12角秒秒。若通过测量临近恒星的方法，小范围的指向精度会更好。在测量中，为了达到更好的对焦效果和尽量对称的波束形状，反射面板的形状需要被仔细调整。这项工作达到了很好的效果，计划用所有其它的接收机重复这个过程。

主反射面包括18块铝板制作的面板。整个镜面的最后校准是通过一个精密3－D测量机器完成的。任何给定点的绝对测量精度是15um，而相对测量精度接近5 um。在横向方向从一个最适合的抛物面主反射面整个的测量误差是30 um。由于重力影响在垂直方向计算的最大形变是7.7 um。面板测量的 r.m.s.表面粗糙度不到2 um 。这样，3米反射面的品质允许良好运作在亚毫米波区域。望远镜Cassegrain焦式的。副反射面的直径是380 mm，可以通过改变轴向焦点、在三维位置移动以及改变3个角度，并由远程控制来进行校准。

2015年进行了数字频谱仪的升级改造，替换了原有的声光频谱仪，改造后，分辨率提高了越15倍，并可灵活配置参数。